繁复的空气调节装置和温度灵敏探测仪，以及程序自动调节系统，将车间恒定在一个机床探测仪器运行精度最高的温度范围。　　再看到他为了将室内的空气流动速度、光照强度、噪音、湿度、电磁波等等各种环境变量，同样恒定在机床设备最佳的需要范围，绞尽脑汁、不惜动用一切手段时，他们都为之感到震惊，觉得他精益求精的要求到了走火入魔的地步。再盘算一下通过这种种改造，这个超净厂房的建设费用直线陡增到一个不可思议的恐怖程度——用他们的判断来看，其建设总开支，足以建设十个同样规模，并且并不见得比这种厂房差太多的高标准洁净厂房！　　所有人都被这个巨大的消耗给吓坏了，认为郭逸铭实在是太小题大做，不把钱当钱用了。　　只有郭逸铭自己知道，虽然洁净厂房的各项环境变量，从指标上看增长并不是特别明显，与投入的巨额支出相比，看似显得很不划算。　　但也正是因为这不起眼的细微提升，却让在洁净厂房内按照标准规范生产的精密零部件，可以比国内的精密部件品质，提升一到两个等级！　　大投入不一定带来大回报，没有大投入，就不可能产生超额回报。　　事情就这样简单。　　这不是他为了夸耀研究所有钱，而故意大手大脚花钱，他只是遵循了最基本的投入/产出规律，做出的顺应之举而已。　　其他人不理解，但从事了一辈子材料研究的董老能够理解。　　可也是他，眼看着用金钱堆砌起来的洁净厂房，神情黯然对郭逸铭道：“小郭啊，要是我们都照你这个厂房标准来建设，我们就是不吃不喝、把十年的研究经费投进来也不够花。这样的一个厂，我们是真的用不起啊！难怪国外的超精密制造业投入是越来越大！又是超净厂房、又是价格昂贵的超精密制造设备，这成本怎么可能低得下来！”　　郭逸铭在了解了国家一年对材料所的研发总投入之后，也是深深地叹了口气。　　经过数十年建设，国内虽然成功建设起一套完备的工业体系，足以满足自产自销的需要，可底子实在太薄了。数亿张嘴要吃饭，上百万返城青年要工作，人民群众对物质生活的巨大需求缺口，需要国家在工业品供应上加大投入……，到处都是嗷嗷待哺的嘴，兜里那一点点钱哪里够用？都是掰碎了，这里给一点点，那里给一点点，就像撒胡椒面似，殚精竭虑，苦熬着勉力支撑这个经济体系不垮，就这样都眼看要维持不下去了。　　所以董美堂他们根本不敢奢望，拥有一座如同郭逸铭他们这种超高等级的超净厂房。他们前来参观，更多的是抱着收集第一手资料，等到国内将来资金充裕以后，能够为建设与之类似、或是更好的超净厂房作资料收集。　　超精密加工升级的不只是一个超净厂房。　　硬件再好，也需软件配合。　　在郭逸铭重新制定的车间生产条例中，何师傅、钱师傅等几位高级技工，也要学会适应如何在超净厂房内，穿着无尘工作服、用更高的技术规范进行高精密加工作业。　　为了帮助他们适应，郭逸铭长时间留在车间内，几乎是手把手地就每一个细节，对他们进行指导。这几位老技工都是八级高级技工，在国内是如同国宝一样的人才，为了适应新厂房的新技术规范，此刻也要跟着他，像个学徒一样，一点一点学习各种注意事项。　　郭逸铭为了照顾他们的情绪，对于他们犯的任何错，从来都是控制住他的情绪，未曾有一句重话，总是讲道理掰碎了，非常耐心地对他们进行说服、讲解、分析，让他们自己明白这样做对精密加工质量提升带来的负面影响。　　就这样，他们也花了很长时间，才勉强接受了这种别扭的工作方式。　　倒是他们的几位徒弟，虽然也是三十来岁的中年人了，但学习的劲头却非常高涨，且虚心接受任何正确意见。他们在工作之外，还利用业余休息时间为自己充电补充，并在他建议下报名参加了夜校补习班。用他们的话来说，十年里，他们耽误了太多时间，现在他们要把时间抢回来，为了这个目标，吃再多的苦他们也愿意！　　郭逸铭对他们的精神感到非常敬佩，也对他们未来的成长充满了信心。　　他们的吸收进度，也确实远比几位师傅强，从港是什么都不懂，经常犯错。到中期，在如何操作自动精密加工设备上，他们已经超过了他们的师傅。所以到了后期，几位老师傅基本上都是在一旁指点，大部分加工业务都交给了几个徒弟。只有在遇到非常重要的地方，他们才亲自出马，利用他们丰富的经验来弥补设备上的不足。　　郭逸铭对此很是高兴。　　从老师傅几位徒弟的技术实力来看，虽然因为现在的精密制造设备，与何师傅等国宝级高级技工相差不大，几位老师傅还可以靠着精确的肉眼判断、超强的稳定性，占有一定优势。但可以预见，随着超精密加工技术、设备的跳跃式发展，当几个徒弟彻底掌握了通过高科技精密设备，进行高精密部件的的操作要领，他们的成长潜力将远远超过他们的师傅。　　尽管他们可能无法做到仅凭肉眼，就将加工精度控制在一丝的范围之内，尽管他们还不能如他们的师傅一样，用一把锉刀，错处宇航级的精密部件，但这不妨碍他们未来操作着超精密加工设备，将加工精度提高到纳米级别！　　这就是科技的力量！　　人力有极限，而科技无极限！　　郭逸铭要的，也不是又一批八级技工，他需要的是合格的超精密设备操作人员。　　超净车间有了，加工设备重新改进了，几位老师傅和他们的徒弟也掌握了在超净环境下，精密加工的要领，接下来才是对半导体设备的改造。　　集成电路制造的光刻、刻蚀、参杂、离子注入、扩散、沉淀、封装等各个主要环节，要说重要，每一个都非常重要。这些环节是一个完整工艺链上的一环，并且环环相扣，每一个环节所造成的疏漏，都会给下一个工艺流程带来无法弥补的重大损失，降低产品品质，使得良品率大大降低。　　各个环节之间的关系，并非相加关系，而是乘积关系！　　用公式来表达，就是哪怕每一个环节，成功率都提高到90%，可整个工艺链运行下来，如果有两个主要环节，就是90乘90，最终成功率为81%！而当环节延伸为三步，那成功率将陡然降至72.9%，四步则更降至65.61%。　　由此可见，尽最大努力提升每一个环节的制备成功率，对集成电路制造业的整体提升效果，都具有非常重要的意义。　　郭逸铭在仔细分析了国内现在的集成电路制造工艺后，没有一下子拿出什么先进制造设备来。因为半导体制造设备的提升，是一个涉及到光学、化学、精密制造、自动化等等各个领域的综合运用成果，他不是神仙，无法在瞬间让这些行业类得到全面的提升，只能抓住一点进行突破。　　他的突破点，便是将原来重复的手工作业，尽可能采用自动化操作来代替。　　手工操作对集成电路的影响可谓是全方面的，不谈人工取件拿件对器件可能造成的污染，首先人的肌肉稳定性、注意力等等方面，和自动设备相比，先天上就居于下风。哪怕是一个极为出色的操作员，在长期枯燥的重复劳动中，也难免会在不经意间出现误操作。而且即便是这个操作员注意力非常集中，肌肉控制力超群，可他每一次移动掩膜、推动光刻头之后，都需要重新对准、聚焦，再怎么熟练的操作员，其复位、步进、精确控制的效率也不可能比机器更高。　　要想提升集成电路制备品质、生产效率，用自动化仪器代替手工操作，是见效最快、最容易实现的，即便是国内较低的自动化测量、控制水平，也可以使得整体水平出现一个飞跃式跨进。　　而且之前，他们已经积累了相当的应用经验。　　当初在制造单晶炉控制部件、运动部件上，他们与单晶炉制造厂家、自动化研究所协作，已经积累了丰富的经验，并具有了相当的默契。郭逸铭他们这次再次与自动化研究所携手，在和上海厂的技术人员进行充分交流之后，对国产的半导体制造设备进行了一次大刀阔斧的改造。　　通过不断改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控程序，根据人工操作采样结果，采用预制步骤的方式，为如何将原来交由人工控制的各种操作尽可能减到最少，他们绞尽脑汁。　　这方面，材料所也给与了大力协助。　　董老等人得知郭逸铭他们在改进集成电路制造设备的消息以后，对如何实现自动化操作充满了兴趣，很快便也积极投入进来，从技术角度给与了全方面协助。　　他们的支持非常关键。　　论到对这个时代国内最尖端科技的实现方法，最为权威的部门莫过于材料应用所。董老他们查阅大量资料，和所里的技术储备，屡屡在郭逸铭他们改造遇到困难的时候，在关键地方提出了合理建议，从而使得他们得以突破技术难关。　　郭逸铭提供技术思路、材料所负责提供本时代能够解决的技术、上海设备厂丰富的半导体设备制造经验、何师傅等人的超精密加工能力。他们亲密无间的合作，让设备改造进度飞快向前。　　并且随着进度的提前，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关键技术环节的光刻机设备的改造，做出了全新的改进。　　光刻是进行集成电路制造的首要环节，其精度、成功率，可以说直接决定了集成电路制造的品质，和产品良品率高低，重要性无论如何拔高，都不为过。　　国内当前的光刻机，还采用的是六十年代的接触式光刻机，在移动掩膜时，不留心就会碰触到光刻胶。而掩膜上哪怕是出现一个极其细微的损伤，都将给接下来的集成电路制造，带来无可估量的严重后果。　　在此之外，国内现在的光刻机紫光照射，是通过透镜聚焦于一点，对局部电路进行光刻之后，再对另一个局部电路进行光刻处理。对比国外已经流行的伺服电机驱动、紫外光聚焦点对掩膜电路进行扫描式曝光，国内的光刻效率非常低下。　　郭逸铭没有兴趣跟在外国人屁股后面，亦步亦趋。　　他亲自动手设计，将原来接触式光刻平台，上移之后，通过光学作用，将透镜凝缩的聚焦点，扩张放大后再缩为一条线。　　通过步进电机，精密驱动紫外光前后移动，变换曝光位置。　　这可不是什么扫描式光刻机，而是后世才逐渐成熟，比扫描式光刻机更先进的步进扫描式光刻机。　　这种光刻机，通过调整透镜距离，将原来点状的紫外光聚焦放大为覆盖到单晶硅边缘的条状曝光区。这样就可以一次性实现对整条区域内电路的照射曝光，一下子就将光刻效率提升数十倍，既加快了制造效率，又节约了成本，可谓是一举数得。　　为了尽快完成对设备的改造工作，他们一直从80年11月，忙到了81年的3月下旬。　　整整五个多月的时间，他们没有一天的休息时间。　　为了节约每一份每一秒，尽管材料所就在马路对面，董老他们仍舍不得浪费这么一点点时间。所有参与技术攻关的人员，吃住都在行政楼内，稍微有一点空闲，他们也用来分析、讨论、研究如何对设备进行自动化改造。有好几次都已经深更半夜了，脑子里忽然有了某个思路的董老等人，也爬起来，心急火燎地敲开郭逸铭的房门，与他就此展开论证。　　就这样，他们日以继夜的投入到改造工作中，所有人都忙得人不像人、鬼不像鬼，每天一直要忙到最后一丝精力都被榨干才精疲力尽投入梦乡。他们忙得连打理个人卫生的时间都没有，只有利用在进洁净车间经过必须洗漱程序时匆匆洗漱一下。　　就这样，一直忙到81年3月23日，第一套完整的半导体制造设备终于装配完成。　　设备的安装、调试工作也是一个需要非常小心的活。　　高精密的设备，对工作环境的要求也是同样苛刻无比。这个时候，就显出了何师傅等人的本事，他们仅靠着肉眼观察、光影判断，就能精确判断出设备的倾斜角度是否符合要求，其精确率，丝毫不亚于上海厂几位拿着测试设备随时观测的工程

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